一.原料标准
1.含硫/磷量控制在0.005% ~ 0.015%
2.必须经过一次或二次熔炼工艺
3.尺寸公差在允许范围内
二.检测指标
1.内表面粗糙度达到 Ra < 0.25um
2.3600X电子扫描放大镜下不得多于40个疵点
3.含水量小于1ppm
4.含氧量小于2ppm
5.颗粒控制: ≤10pcs/sc.f. @ 0.1μm
三.清洗标准
1. 电抛光后用1:60的硝酸溶液进行中和清洗
2. 用去离子水冲洗至余水的电阻率达到1 MΩ
3. 用18 MΩ 140oF热去离子水清洗
4. 最后清洗在100级洁净室内进行
5. 高纯氮气或氩气吹干
四包装标准
1.双层聚乙烯包装，两端用聚乙烯盖密封
2.包装应在100级洁净室内进行
